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?概要

該設(shè)備是手動上下料，手動拉膜，手動貼膜，自 動壓膜，手動切割的貼膜設(shè)備，

適用于半導(dǎo)體晶圓劃片制程前的貼膜工序。

優(yōu)勢

兼容6; 8英寸劃片環(huán)及3; 4; 5; 6; 8英寸晶圓，也可定制。

省膜，做6;8英寸劃片環(huán)可達(dá)到同等的省膜。

.貼膜力由氣缸推力產(chǎn)生，貼膜壓力可參數(shù)化調(diào)整。

.防靜電特氟龍?zhí)幚碚婵瘴脚_，溫度從室溫至100°C可控。

.晶圓放置臺采用浮動設(shè)計，且高度可調(diào)，因此可兼容貼更大范圍厚度的晶圓，

且浮動的設(shè)計能更好地保護(hù)晶圓。

.晶圓定位采用標(biāo)線定位。

.離型層自動纏繞回收，回收力可調(diào)。

.正常貼膜過程中只需用到最右邊的真空按鈕，操作簡單。

采用氮氣彈簧支撐，操作更省力。

.主要元器件均采用臺灣知名品牌。