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概要

該設備是手動上下料，手動拉膜，手動貼膜， 自動壓膜，手動切割的貼膜設備，

適用于半導體晶圓劃片制程前的貼膜工序。

優勢

兼容6; 8英寸 劃片換及3; 4; 5; 6; 8英寸晶圓，也可定制。

省膜，做6; 8英寸劃片環可達到同等的省膜。

貼膜力由氣缸推力產生，貼膜壓力可調整。

防靜電特氟龍處理真空吸附臺，溫度室溫--100° C可控。

晶圓放置臺采用浮動設計，且高度可調，因此可兼容更大范圍厚度的晶圓，且

浮動的設計能更好的保護晶圓。

晶圓定位采用標線定位。

離型層自動纏繞回收，回收力可調。

膜料和放膜料筒之間的鎖緊無需借助任何工具。

正常貼膜過程中只需要用到最右邊的按鈕，操作簡單。

采用氮氣彈簧支撐上蓋，操作更省力。

主要元器件均采用進口知名品牌。