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?概要

該設(shè)備是手動上下料，自動拉膜，自動貼膜，手動切割的貼膜設(shè)備，適

用于半導體晶圓劃片制程前的貼膜工序。

優(yōu)勢

兼容6; 8英寸劃片換及3; 4; 5; 6; 8英寸 晶圓，也可定制。

省膜，做6;8英寸劃片環(huán)可達到同等的省膜。

貼膜力由氣缸推力產(chǎn)生，貼膜壓力可調(diào)整。

防靜電特氟龍?zhí)幚碚婵瘴脚_，溫度室溫--100° C可控。

晶圓放置臺采用浮動設(shè)計，且高度可調(diào)，因此可兼容更大范圍厚度的晶圓，且浮動的

設(shè)計能更好的保護晶圓。

晶圓定位采用標線定位。

離型層自動纏繞回收，回收力可調(diào)。

膜料和放膜料簡之間的鎖緊無需借助任何工具。

采用氮氣彈簧支撐上蓋，操作更省力。

主要元器件均采用進口知名品牌。