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半自動(dòng)減薄貼膜機(jī) TM-08S

半自動(dòng)減薄貼膜機(jī) TM-08S

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概要

該設(shè)備是手動(dòng)上下料, 自動(dòng)拉膜,自動(dòng)貼膜, 自動(dòng)壓膜,手動(dòng)切割的貼膜設(shè)備,適用于

半導(dǎo)體晶圓減薄制程前的貼膜工序。


優(yōu)勢(shì)

兼容4; 5; 6長(zhǎng)邊; 6短邊; 8英寸晶圓,也可定制。

切割刀帶加熱功能,室溫至180° c可調(diào)。

晶圓的平邊,周邊,本機(jī)器都可一次完成無(wú)飛邊式的切割。

換刀方便,且刀片使用壽命長(zhǎng)。

貼膜力由氣缸推力產(chǎn)生,貼膜壓力可參數(shù)化調(diào)整。

防靜電特氟龍?zhí)幚砭A放置臺(tái),真空吸附力可調(diào),真空度數(shù)顯顯示。

晶圓定位采用氣動(dòng)定位銷,定位方便,快捷,精準(zhǔn)。

離型層自動(dòng)纏繞回收,回收力可調(diào)。

膜料和放膜料筒之間的鎖緊無(wú)需借助任何工具。

采用氮?dú)鈴椈芍危仙w,操作更省力。

主要元器件均采用進(jìn)口知名品牌。

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