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概要

該設備是手動上下料，自動對位，自動剝膜，自 動貼膜，自動卷收隔離層膜的貼膜設備，半導體晶圓切割前的工序。

優勢

可調整性:晶圓吸附力可調且可數顯顯示;貼膜壓力可調且有壓力表顯示晶圓工作臺高度可調，離型層回收力可調且有刻度盤顯示。

操作安全性，操作窗口設有安全光幕。

晶圓安全性:實時晶圓真空度檢測，浮動晶圓放置臺，防靜電特氟龍處

理晶圓放置臺，保證晶圓安全。

全方位檢測:其他檢測包括膜耗盡檢測;劃片環檢測;廣]禁檢測;所有氣

缸工作位置檢測等。

高品質貼膜效果:無氣泡;懸空膜無皺且具一定張力

高質量:主要元器件均采用進口知名品牌;全不銹鋼外殼;鋁型材機架。